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SDG吸附剂能吸附有机气体吗?

时间:2021-01-18 13:29:07 来源: 点击:28542次

SDG吸附剂能吸附有机气体吗?不可以的,SDG吸附剂,本质是碱性材料混合物,和酸气是酸碱中和反应,和有机物不反应,所以基本没有效果的。

半导体制造或许排放的特别毒性气体品种很多,如所排放的AsH3、PH3、SiH4、B2H6、SiH2Cl2,CL2,HF,PH3,NH3,HBr,F2,HCL,COS等等,都是含有特别毒性的风险气体。针对此类的废气处理需掌握各单元所排放的废气特性,串联多种不同型式的废气处理设备和吸附剂。现在常使用于处理半导体制程中特别毒性气体处理的处理技術,一般能够分為四种,干式吸收或吸附法、湿式洗滌法等。其间各种吸附剂的合作使用为现在半导体职业的干流处理技能。

SDG1型吸附剂,外观为黑色圆柱形颗粒,堆积比重为0.6~0.7,可以处理任意浓度的各类混合酸气。该产品尤其对氮氧化物(NOx)的处理有着非常显著的效果。其对氮氧化物(NOx)的初始吸附率可以达到95%以上,吸附容量为10%~20%,吸附效率为70%~95%,其正常使用温度为50度以下,可以耐300度以上的高温,耐湿小于80度的水蒸气,无毒不再生,无二次污染。

 

   SDG2型吸附剂主要吸附的酸类是H2SO4, HCL, HF等多种酸气。其外观为灰色圆柱形颗粒,堆积比重为0.7~0.8 可以处理任意浓度的酸气。SDG-II型吸附剂正常使用温度为50度以下,可以耐350度以上的高温,耐湿小于80度水蒸气,无毒不再生,无二次污染。

 

  SDG2型吸附剂主要吸附参数如下:
  对HF的初始吸附率可以达到98%以上,吸附容量为40% 吸附效率为98%~85%
  对HCL的初始吸附率可以达到98%以上,吸附容量为50% ,吸附效率为98%~80%
  对H2SO4的初始吸附率可以达到95%以上,吸附容量为50%,吸附效率为95%~70%


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